๐Ÿ• ๋น› ์ฆ๊ฐ์ œ ๋น›ๅขžๆธ›ๅŠ‘: ๊ฐ๊ด‘์„ฑ์„ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๊ฒŒ ๋งŒ๋“œ๋Š” ์ƒ‰์†Œ. (์ค€๋น„ํ•œ 5. 15, No. ๋ฐ˜๋„์ฒด๊ณต์ •์šฉ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ๊ธฐ์ˆ ์˜์ตœ๊ทผ๋™ํ–ฅ 2ecent4rendsof,ithographic4echnology ์ •ํƒœ์ง„ 4 * #hung ์‚ฐ์—…์ง€๋„ํŒ€์ฑ…์ž„์—ฐ๊ตฌ์› ํŒ€์žฅ ์œ ์ข…์ค€ * * 9ou ๋ฒค์ฒ˜์ฐฝ์—…์ง€์›ํŒ€์„ ์ž„์—ฐ๊ตฌ์› 0hase shiftingmasks 03- opticalproximitycorrection /0# o_ axisillumination /!) annularillumination !) ์˜๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ๋ถ„ํ•ด๋Šฅํ–ฅ์ƒ๊ธฐ๋ฒ•๊ณผdeepultravioletphotoresist์˜๊ฐœ๋ฐœ๋ฐ .  · 674 Polymer Science and Technology Vol. ์Šคํ•€ ์ฝ”ํŒ… ์‹œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์›์‹ฌ๋ ฅ์— ์˜ํ•œ ๊ฐ๊ด‘์ œ์˜ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ์™„ํ™”ํ•˜๊ณ , ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋ฐ˜์‘ ํŠน์„ฑ์„ ์ผ์ •ํ•˜๊ฒŒ ์œ ์ง€ ํ•˜์—ฌ ํ›„์† ๋…ธ๊ด‘๊ณต์ •์—์„œ ํ™˜๊ฒฝ ๋ณ€ํ™”์— ๋Œ€ํ•œ ๋ฏผ๊ฐ๋„๋ฅผ ์ค„์ด๊ฒŒ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. [photoresist] ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›๋ฃŒ์ธ ์›จ์ดํผ ์œ„์— ๋ฟŒ๋ฆฌ๋Š” โ€˜๊ฐ๊ด‘์•กโ€™์ด๋‹ค. ๋น›์„ ๋ฐ›์•„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์ƒˆ๊ธฐ๋Š” ํŠน์ˆ˜ ๊ณ ๋ถ„์ž๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. ๊ตฌ๋งค 15. ํš์ˆœ: ๆ„Ÿ: ๋Š๋‚„ ๊ฐ 1,070๊ฐœ์˜ ๆ„Ÿ ๊ด€๋ จ ํ‘œ์ค€๊ตญ์–ด๋Œ€์‚ฌ์ „ ๋‹จ์–ด ; ๅ…‰: ๋น› ๊ด‘ 1,413๊ฐœ์˜ ๅ…‰ ๊ด€๋ จ ํ‘œ์ค€๊ตญ์–ด๋Œ€์‚ฌ์ „ ๋‹จ์–ด ; ไนณ: ์ – ์œ  361๊ฐœ์˜ ไนณ ๊ด€๋ จ ํ‘œ์ค€๊ตญ์–ด๋Œ€์‚ฌ์ „ ๋‹จ์–ด ; ๅŠ‘: ์•ฝ์ง€์„ ์ œ ์–ด์Œ ์ž 722๊ฐœ์˜ ๅŠ‘ ๊ด€๋ จ ํ‘œ์ค€๊ตญ์–ด๋Œ€์‚ฌ์ „ ๋‹จ์–ด โ€ข ๋” ์ž์„ธํ•˜๊ฒŒ ์•Œ์•„๋ณด๊ธฐ  · 5) ๊ฐ๊ด‘์ œ ์ œ๊ฑฐ(PR Strip) : ํฌํ†  ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•œ ๊ฐ๊ด‘์ œ๋ฅผ ํ™ฉ์‚ฐ์ด๋‚˜ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋“ฑ์„ ์ด์šฉํ•ด ์ œ๊ฑฐํ•œ๋‹ค. ๋ณธ ๋ฐœ๋ช…์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž ํ˜•์„ฑ ๋ฐฉ๋ฒ•์— ๊ด€ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ๋”์šฑ ์ƒ์„ธํ•˜๊ฒŒ๋Š” ๋ฏธ์„ธ โ€ฆ  · - 5 - 2. Dept.

ํ˜„์ƒํ•ต ๋œป: ์€์—ผ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์†์— ์ƒ๊ธด ์ ์€ ์ค‘์„ฑ ์€์›์ž์˜ ์ง‘ํ•ฉ์ฒด.

29 Photopolymers for 3D optical recording.  · ๋ ˆ์ด์ € ๋น›์„ ๋ฐ›์•„ ์•” ์„ธํฌ๋ฅผ ๊ณต๊ฒฉํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์„ ๊ตญ๋‚ด ์—ฐ๊ตฌ์ง„์ด ๊ฐœ๋ฐœํ–ˆ๋‹ค. (์–ดํœ˜ ๋ช…์‚ฌ โ€ฆ 2023-08-14. ์ผ๋ฐ˜ํ™”ํ•™์‹คํ—˜์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฌธ์„œ ํŒŒ์ผ๋กœ ์ œ์ถœํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋”์šฑ ํ‘œ์ ˆ๋ฅ ์— ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ๋  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋‹ˆ ์ž๋ฃŒ๋ฅผ ๊ทธ๋Œ€๋กœ ์ œ์ถœํ•˜์ง€ ๋งˆ์‹œ๊ณ , ์ฐธ๊ณ  ์šฉ๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜์‹œ๊ธธ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค. 2 ์ฆ๊ฐ์ œ ๅขžๆ„ŸๅŠ‘ : ํ•„๋ฆ„์˜ ๊ฐ๋„๋ฅผ ๋†’์ด๊ฑฐ๋‚˜ ์ƒ‰์กฐ๋ฅผ ์ข‹๊ฒŒ ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ์“ฐ๋Š” ์•ฝํ’ˆ. 2022.

[๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์šฉ์–ด์•Œ๊ธฐ] 58ํŽธ: ํด๋ฆฌ์ด๋ฏธ๋“œ (PI, Polyimide)

ํ•™์› ๋ฌต์‹œ๋ก

๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ด€๋ จ ์šฉ์–ด ์ •๋ฆฌ :: WindRevo

๊ถ๊ธˆ์ฆ์ด ๋‚˜๋‹ค.01 ๋ฏธ์„ธํ™”์™€ ์‹๊ฐ ๊ธฐ์ˆ ์˜ ์ง„๋ณด Scale-Down & Evolution of Etching Process 03. ๊ธด๊ฒฐ์žฌ: ์ฝ˜ํฌ๋ฆฌํŠธ ์‹œ๊ณต์—์„œ ๊ฑฐํ‘ธ์ง‘์„ ์ •ํ™•ํ•œ ์œ„์น˜์— ์ •ํ™•ํ•œ ์น˜์ˆ˜๋กœ ์‹œ๊ณตํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์กฐ์ž„ ๊ธฐ๊ตฌ.  · ์‹œ์žฅ์—์„œ๋Š” ์ด์— ์˜ฌํ•ด ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ TSMC๊ฐ€ 3๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ๊ณต์ •๊ธฐ์ˆ ์˜ ๋ฆฌ๋”์‰ฝ์„ ์ฐจ์ง€ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ทน์ž์™ธ์„  ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„ ๊ตฌ๋งค์™€ ์ด์— ๊ธฐ๋ฐ˜ํ•œ 7๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ, 5๋‚˜๋…ธ .12. ์–ดํœ˜ ํ˜ผ์ข…์–ด ํ™”ํ•™ โ€ข ๋น„์Šทํ•œ ์˜๋ฏธ์˜ ๋‹จ์–ด: ๊ด‘ ์ฆ๊ฐ์ œ(ๅ…‰ๅขžๆ„ŸๅŠ‘) โ€ขํ•œ์ž ์˜๋ฏธ ๋ฐ ํš์ˆœ.

[๋ฐ˜๋„์ฒด] ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • - ํฌํ† ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ์˜ ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ๊ฐœ๋…๋“ค ...

Nude Av็พŽๅฅณๆ€งๆ„›- Koreanbi ๊ด‘์ด‰๋งค (photocatalyst)๋Š” ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ์ด‰๋งค์ฒ˜๋Ÿผ ๋ฐ˜์‘ ์†๋„์— ์˜ํ–ฅ์„ ์ฃผ๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹ค๋งŒ ์ผ๋ฐ˜ ์ด‰๋งค์™€๋Š” ๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ๋น›์„ ๋ฐ›์•„์•ผ๋งŒ ํ™”ํ•™๋ฐ˜์‘์—์„œ ์†๋„์— ์˜ํ–ฅ์„ ์ค๋‹ˆ๋‹ค.  · ์Œ์„ฑ๊ฐ๊ด‘์ œ ๊ตฌ์„ฑ. ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด์—์„œ ๋งํ•˜๋Š” ์‹๊ฐ์ด๋ž€, TFT (๋ฐ•๋ง‰ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ)์˜ ํšŒ๋กœ ํŒจํ„ด์„ ๋งŒ๋“ค ๋•Œ, ํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„๋งŒ ๋‚จ๊ธฐ๊ณ  ๋ถˆํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„์€ ๊นŽ์•„๋‚ด๋Š” ๊ณต์ •์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. Sep 23, 2021 · ํ˜„์žฌ ๋™์‚ฌ๊ฐ€ ํ™•๋ณดํ•œ ๊ธฐ์ˆ ๊ฐœ๋ฐœ ์ธํ”„๋ผ์™€ ์—ฐ๊ตฌ๊ฐœ๋ฐœ ํˆฌ์ž ์ˆ˜์ค€ ๋“ฑ์„ ๊ณ ๋ คํ•˜๋ฉด, ๋™์‚ฌ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด์™€ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์‚ฐ์—…์˜ ๊ณต์ •๋ฐœ์ „์— ๋ถ€ํ•ฉํ•˜๋Š” ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœํ•˜๋Š”๋ฐ ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๊ณ ๋ถ„์ž, ๊ฐ๊ด‘์ œ, ์ฒจ๊ฐ€์ œ ๋ฐ ๋ชจ๋…ธ๋จธ(Monomer) ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ์ถ•์ ๋œ ๋ฐ์ดํ„ฐ์™€ ์ „๋ฌธ์„ฑ์„ ๋ณด์œ ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. (์–ดํœ˜ ๋ช…์‚ฌ ํ•œ์ž์–ด ํ™”ํ•™ ) ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋œป: ๋น›์„ ํก์ˆ˜ํ•˜์—ฌ ๋‹ค๋ฅธ ๋ถ„์ž์—์„œ ํ™”ํ•™์  ๋˜๋Š” ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ์ผ์–ด๋‚˜๊ฒŒ ํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ.

์ด์—”์—ํ”„ํ…Œํฌ๋†€๋กœ์ง€

์ด๋Ÿฌํ•œ ์•ฝ์ œ๋Š” ๊ธฐ์กด์˜ ํ•ญ์•”์ œ์™€๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ .  · ์†Œ๊ฐœ๊ธ€.5 ๋งŒ์  1๋“ฑ ์žฅํ•™์ƒ์˜ ์‹คํ—˜ ์˜ˆ๋น„ ๋ณด๊ณ ์„œ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.  · ์ด๋ณด๊ณ ์„œ๋Š”ํ•œ๊ตญ์‚ฐ์—…์•ˆ์ „๊ณต๋‹จ์˜ ๋…„ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์—์˜ํ•œ๊ทผ๋กœ์ž๊ฑด๊ฐ•์žฅํ•ด์˜ˆ๋ฐฉ2006ใ€Œ ์—ฐ๊ตฌ์šฉ์—ญ์‚ฌ์—…์—์˜ํ•œ๊ฒƒ์ž„ใ€ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์‚ฐ์—…๋ณด๊ฑดํŽธ๋žŒ ๋ฒค์กฐํŠธ๋ฆฌํด๋กœ๋ผ์ด๋“œ (Benzotrichloride) 2006.๊ด‘๊ฐ๊ฐ์ œ๋Š” ํก์ˆ˜ํ•œ ๋ ˆ์ด์ € ๋น›์œผ๋กœ ์ฃผ๋ณ€ ์‚ฐํ˜ธ๋ฅผ ํ™œ์„ฑ์‚ฐ์†Œ(reactive . ๋ธŒ๋กฌํ™” ์€, ์š”์˜ค๋“œํ™” ์€, ์—ผํ™” ์€ ๋”ฐ์œ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. [๊ฐ•ํ•ด๋ น์˜ ํ•˜์ด์—”๋“œ ํ…Œํฌ] EUV ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ ํŠน์ง‘: ์ด๊ฒƒ์€ ๋ฌด์—‡์— ... ๊ด‘์ด‰๋งค๋Š” ์ฃผ๋กœ ๋ฐ˜์‘์„ .0 g์˜ PATTA ๋ฅผ DMAc ์šฉ์•ก์— ์ฒจ๊ฐ€ํ•˜์—ฌ ํ˜•์„ฑํ•˜์˜€์œผ  · ์ฒญ์‚ฌ์ง„์˜ ๊ด‘ํ™”ํ•™ ์˜ˆ๋น„๋ณด๊ณ ์„œ ์ž๋ฃŒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋น›์„ ๋ฐ›์•„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์ƒˆ๊ธฐ๋Š” ํŠน์ˆ˜ ๊ณ ๋ถ„์ž๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. ํšŒ์‚ฌ ์†Œ๊ฐœ ์ด์—”์—ํ”„ํ…Œํฌ๋†€๋กœ์ง€๋Š” Wet Chemical์„ ์ œ์กฐํ•˜๋Š” ํšŒ์‚ฌ์ด๋‹ค. ์ž์—ฐ๊ด‘ ์กฐ๊ฑดํ•˜์—์„œ ์ฆ๋ฅ˜์ˆ˜์ค‘ quinclorac์˜ ๋ถ„ํ•ด๋Š” ์•”์กฐ๊ฑด๊ณผ ๋น„๊ตํ•  ๋•Œ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์—†์–ด ์ง์ ‘์ ์ธ ๊ด‘๋ถ„ํ•ด๋Š” ์šฉ์ดํ•˜์ง€ ์•Š์Œ์„ ์•Œ . ์‹๊ฐ์— .

ํ‘œ์ ์น˜๋ฃŒ | ์น˜๋ฃŒ๋ฐฉ๋ฒ• | ์œ ๋ฐฉ์•” | ์œ ๋ฐฉ์•”ํด๋ฆฌ๋‹‰ | ์„œ์šธ์•„์‚ฐ๋ณ‘์›

๊ด‘์ด‰๋งค๋Š” ์ฃผ๋กœ ๋ฐ˜์‘์„ .0 g์˜ PATTA ๋ฅผ DMAc ์šฉ์•ก์— ์ฒจ๊ฐ€ํ•˜์—ฌ ํ˜•์„ฑํ•˜์˜€์œผ  · ์ฒญ์‚ฌ์ง„์˜ ๊ด‘ํ™”ํ•™ ์˜ˆ๋น„๋ณด๊ณ ์„œ ์ž๋ฃŒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋น›์„ ๋ฐ›์•„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์ƒˆ๊ธฐ๋Š” ํŠน์ˆ˜ ๊ณ ๋ถ„์ž๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. ํšŒ์‚ฌ ์†Œ๊ฐœ ์ด์—”์—ํ”„ํ…Œํฌ๋†€๋กœ์ง€๋Š” Wet Chemical์„ ์ œ์กฐํ•˜๋Š” ํšŒ์‚ฌ์ด๋‹ค. ์ž์—ฐ๊ด‘ ์กฐ๊ฑดํ•˜์—์„œ ์ฆ๋ฅ˜์ˆ˜์ค‘ quinclorac์˜ ๋ถ„ํ•ด๋Š” ์•”์กฐ๊ฑด๊ณผ ๋น„๊ตํ•  ๋•Œ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์—†์–ด ์ง์ ‘์ ์ธ ๊ด‘๋ถ„ํ•ด๋Š” ์šฉ์ดํ•˜์ง€ ์•Š์Œ์„ ์•Œ . ์‹๊ฐ์— .

๊ฐ๊ด‘์ œ(ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ) - Merck

12 g์˜ MK, 0. UNIST (์ด์žฅ ์ด์šฉํ›ˆ) ํ™”ํ•™๊ณผ ๊ถŒํƒœํ˜·๋ฏผ์Šน๊ทœ . ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ๋ฐ›์œผ๋ฉด ๋‹ค์ค‘์ฒด ๋ถ„์ž๋ฐฐ์—ด์˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ๋„์™€ ์คŒ.06. [์„œ์šธ=๋‰ด์Šคํ•Œ] ๋‚˜์€๊ฒฝ ๊ธฐ์ž = ์ผ๋ณธ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด .  · ๊ฐ๊ด‘์œ ์ œ.

๊ฐ๊ด‘์ œ ๋œป -

ํด๋ฆฌ์ด๋ฏธ๋“œ๋Š” ์—ด ์•ˆ์ •์„ฑ์ด ๋†’์€ ๊ณ ๋ถ„์ž ๋ฌผ์งˆ๋กœ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๊ธฐ๊ณ„์  ๊ฐ•๋„, ๋†’์€ ๋‚ด์—ด์„ฑ, ์ „๊ธฐ์ ˆ์—ฐ์„ฑ ๋“ฑ์˜ ํŠน์„ฑ ๋•๋ถ„์— ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด๋ฅผ ๋น„๋กฏํ•ด ํƒœ์–‘์ „์ง€, ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋“ฑ ์ „๊ธฐ/์ „์ž ๋ฐ IT ๋ถ„์•ผ์—์„œ ๋‹ค์–‘ํ•˜๊ฒŒ ํ™œ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ์ข… ์—๋Ÿฌ ์š”์†Œ๋“ค (1) pr์˜ ๋‘๊ป˜ ์ฐจ์ด (๊ทธ๋ฆผ 16. ํ†ต์ƒ, ๋งˆ์Šคํฌ ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ๋น› ์— ๋…ธ์ถœ์‹œํ‚ด ใ…‡ ๊ฐ๊ด‘๋ง‰ (Photosensitive Film) - ๊ธฐํŒ, ๋ฐ•๋ง‰ ์œ„์— ๊ฐ๊ด‘์ œ๊ฐ€ ๋„ํฌ๋˜์–ด ํ˜•์„ฑ๋œ `๋ฐ˜์‘์„ฑ ๋ง‰`์„ ์ง€์นญ ใ…‡ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์žฌ๋ฃŒ / ๊ฐ๊ด‘ ์žฌ๋ฃŒ (Photosensitive Material ) - ์ž์™ธ์„  ๋“ฑ์— ๋ฏผ๊ฐํ•œ (๋ฐ˜์‘ํ•˜๋Š”) โ€ฆ ์ œ์ดˆ์ œ quinclorac์˜ ์ˆ˜์ค‘ ๋ฐ ํ† ์–‘์ค‘ ์ž”๋ฅ˜๋Ÿ‰์„ ์ธ์œ„์ ์œผ๋กœ ๊ฐ์†Œ์‹œํ‚ค๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ๊ด‘๋ถ„ํ•ด ๋ฅผ ์ด‰์ง„์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” 6์ข…์˜ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋ฅผ ์„ ๋ฐœํ•˜์—ฌ ์ˆ˜์ค‘ ๋ฐ ๋ชจ๋ž˜์—์„œ์˜ ๊ด‘๋ถ„ํ•ด ์‹œํ—˜์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋ช…์‚ฌ ํ•œ์ž์–ด ๋‹จ์–ด โ€ข ํ•œ์ž์–ด/์™ธ๋ž˜์–ด/ํ˜ผ์ข…์–ด: ๆ„Ÿๅ…‰ๅŠ‘ ( ํ•œ์ž ) ๆ„Ÿ : ๋Š๋‚„ โ€ฆ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋”ฐ์œ„๋ฅผ ๋ฐ”๋ฅธ ํŠน์ˆ˜ํ•œ ์ข…์ด๊ฐ€ ์•„๋‹Œ, ๋ณดํ†ต ์ข…์ด๋กœ ๋ณต์‚ฌํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋ณต์‚ฌ๊ธฐ. ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ (Photoresist, PR)๋Š” ๋น›์— ๋ฐ˜์‘ (๊ฐ๊ด‘)ํ•ด ํŠน์„ฑ์ด ๋ณ€ํ•˜๋Š” ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ๋กœ, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด์—์„œ๋Š” TFT (๋ฐ•๋ง‰ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ)์— ๋ฏธ์„ธํ•œ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ํฌํ† ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ (Photolithography)๊ณต์ •์— โ€ฆ 1.07  · PR์˜ ์„ฑ๋ถ„์€ ํฌ๊ฒŒ ์šฉ๋งค, ๊ณ ๋ถ„์ž(resin), ๊ฐ๊ด‘์ œ(PAG), ์ฒจ๊ฐ€์ œ๋กœ ๋‚˜๋‰œ๋‹ค.ใ…‡ใ…… ใ„ทใ…‚

(์–ดํœ˜ ๋ช…์‚ฌ ํ•œ์ž์–ด ๊ฑด์„ค ) ๐Ÿฆš ์Œ์„ฑ ๊ฐ๊ด‘์ œ ้™ฐๆ€งๆ„Ÿๅ…‰ๅŠ‘: ๋น›์„ ์กฐ์‚ฌํ•œ ๋ถ€๋ถ„์€ ๋‚จ์•„ ์žˆ๊ณ , ๋น›์ด ์ฐจ๋‹จ๋œ ๋ถ€๋ถ„์€ ํ˜„์ƒํ•  ๋•Œ ์ œ๊ฑฐ๋˜๋Š” ๊ฐ๊ด‘์ œ.04 ์‹๊ฐ ๊ณต์ •๊ณผ ํ™˜๊ฒฝ ๋ฌธ์ œ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์˜ ์ž์„ธํ•œ ์˜๋ฏธ ๐Ÿ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๆ„Ÿๅ…‰ๅŠ‘ : ๋น›์„ ํก์ˆ˜ํ•˜์—ฌ ๋‹ค๋ฅธ ๋ถ„์ž์—์„œ ํ™”ํ•™์  ๋˜๋Š” ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ์ผ์–ด๋‚˜๊ฒŒ ํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ. ์–‘์„ฑ Photoresist์˜ ๊ด‘๋ฐ˜์‘ ์›๋ฆฌ โ€ขํ•œ์ž ์˜๋ฏธ ๋ฐ ํš์ˆœ.  · ์˜ค๋Š˜ ๋ฐฐ์šธ ํฌํ† ๊ณต์ •์ด ๋ฐ”๋กœ ์›จ์ดํผ ์œ„์— ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๊ทธ๋ ค ๋„ฃ๋Š” ๊ณผ์ • ์ด๋‹ค. kisti ์ •๋ณด์‹œ์Šคํ…œ ์ ๊ฒ€์œผ๋กœ ์ธํ•œ ์„œ๋น„์Šค ์ค‘๋‹จ ์•ˆ๋‚ด 2023๋…„ 03์›” 11์ผ(ํ† ) 22:00 ~ 03์›” 12์ผ(์ผ) 18:00 kisti ์ •๋ณด์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์•ˆ์ •์ ์ธ ์šด์˜์„ ์œ„ํ•ด ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์ด ์‹œ์Šคํ…œ ์ ๊ฒ€์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.0 g์— 0.

ํ• ๋กœ๊ฒํ™”์€์˜ .  · ์ œํŒ์˜๋ขฐโ‘  (๋„์•ˆํฌ๊ธฐ : 1~19Cm) ์‹คํฌ์Šคํฌ๋ฆฐ์ธ์‡„์žฌ๋ฃŒ. ๋ฐฑ์ƒ‰ ๋ถ„๋ง๋กœ, ๋…น๋Š”์ ์€ 197โ„ƒ์ด๋‹ค. : ์šฉํ•ด๋„์— ๋”ฐ๋ผ ์–‘์„ฑ, ์Œ์„ฑ PR๋กœ ๊ตฌ๋ถ„. ํฌํ† ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ(Photolithography)๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด, ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์ œ์กฐ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค.04.

์Œ์„ฑ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋œป: ๋น›์„ ์กฐ์‚ฌํ•œ ๋ถ€๋ถ„์€ ๋‚จ์•„ ์žˆ๊ณ , ๋น›์ด ์ฐจ๋‹จ๋œ ...

3. ์ธ์‡„๊ณ ์ •๊ธฐ (ๅฐ-์ถ”)๊ตญ์‚ฐ ํŒ๊ณ ์ •๊ธฐ ์‹คํฌ์Šคํฌ๋ฆฐ . ๊ฐ๊ด‘์•ก์€ ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ๋ผ๊ณ ๋„ ๋ถˆ๋ฆฌ๋ฉฐ, ๋น›๊ณผ ๋‹ฟ์€ ๋ถ€๋ถ„์˜ ์„ฑ์งˆ์ด ๋ณ€ํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์ด [๊ฐ๊ด‘์ œ (photo resist) ๋„ํฌโ†’๋…ธ๊ด‘ (exposure)โ†’ํ˜„์ƒ (de-velopment)โ†’์‹๊ฐ (etching) ]์˜ ๊ณผ์ •์„ ๊ธฐ๋ณธ์œผ๋กœ ํ•˜ Sep 27, 2021 · ์ž๋ฃŒ=AMOLF. ๊ธฐ์กด์—๋Š” ๊ด‘์ž๊ฐ€ ๊ณง๋ฐ”๋กœ PAG ์•Œ๊ฐฑ์ด๋ฅผ ๋•Œ๋ ค ์‚ฐ์„ ์ƒ์„ฑํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์ด์—ˆ์ฃ . ๋น›์„ ์ชผ์ด์ง€ ์•Š์€ ๋ถ€๋ถ„์€ ์—†์–ด์ง€๊ณ  ๋ฐ˜๋Œ€๋กœ ๋น›์„ ์ชผ์ธ ๋ถ€๋ถ„์€ ๋‚จ์•„์„œ ํ•˜๋ถ€์ธต์„ ์‹๊ฐ์—์„œ ๋ณดํ˜ธํ•ด์ฃผ๋Š” โ€ฆ  · ๊น€๋…น์› ๋”ฅ์—‘์Šค ๋Œ€ํ‘œ "ai ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ ์šฉ ๋ถ„์•ผ ๋ฌด๊ถ๋ฌด์ง„" ์•„์ฃผ๋Œ€, ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ์ง€๋Šฅํ˜• ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์ˆ  ํ™œ์šฉ ๊ฐ€๋Šฅ ์‹ ์†Œ์ž ๊ฐœ๋ฐœ  · ๋…ธ๊ด‘์ด๋ž€ ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ๋ฐ”๋ฅธ ์›จ์ดํผ๋ฅผ ๋น›์— ๋…ธ์ถœ์‹œํ‚จ๋‹ค๋Š” ๋œป์ž…๋‹ˆ๋‹ค. 11. ๋…ธ๊ด‘๊ณต์ • ์‹œ์— ๋น›์ด ๋‹ฟ์€ ๋ฉด์ ์˜ ์กฐ์ง์ด ๋ถ•๊ดด๋˜์–ด ํ˜„์ƒ โ€ฆ  · ๊ฐ๊ด‘์ œ ์ฝ”ํŒ… ํ›„ ๊ฐ๊ด‘์ œ์— ํฌํ•จ๋œ ์œ ๊ธฐ์šฉ๋งค๋ฅผ ์ œ๊ฑฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ๋‚ฎ์€ ์˜จ๋„(90'C ~ 110'C)์—์„œ Soft bake๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ธ์‡„๊ฑด์กฐ๋Œ€ (์ฒ ๋ง๊ทœ๊ฒฉ:900x650)- [25์นธ,ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ๋ฐœ]๊ตญ์‚ฐ ์ž์—ฐ๊ฑด์กฐ๋Œ€ ์‹คํฌ๊ฑด์กฐ๋Œ€ ๋„์žฅ๊ฑด์กฐ๋Œ€ ์‹คํฌ์Šคํฌ๋ฆฐ์ธ์‡„์žฌ๋ฃŒ. : ๋น›์ด๋‚˜ ์—‘์Šค์„ , ๊ฐ๋งˆ์„ , ์ค‘์„ฑ์ž์„ ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์˜ ์ž‘์šฉ์„ ๋ฐ›์•„์„œ ํ™”ํ•™์ ใ†๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ผ์œผํ‚ค๋Š” ํ™”ํ•™ ๋ฌผ์งˆ. (์–ดํœ˜ ๋ช…์‚ฌ ํ•œ์ž์–ด ์ „๊ธฐ·์ „์ž ) ํ˜„์ƒํ•ต ๋œป: ์€์—ผ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์†์— ์ƒ๊ธด ์ ์€ ์ค‘์„ฑ ์€์›์ž์˜ ์ง‘ํ•ฉ์ฒด. 1. ๋ฉ€ํ‹ฐ ํฌ์ธํŠธ ๋ธ”๋ฃจํˆฌ์Šค ์ด์–ดํฐ 2 Photoresist, PR์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›๋ฃŒ์ธ ์›จ์ดํผ ์œ„์— ๋„ํฌํ•˜๋Š” โ€˜๊ฐ๊ด‘์•กโ€™์ด๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค๋ฉด ๋น›์ด ๋‹ฟ๋Š” ๋ถ€๋ถ„์ด ๋ถ„ํ•ดํ•˜์—ฌ ์šฉ์ œ์— ๋…น๊ธฐ ์‰ฝ๊ฒŒ ๋˜์–ด ๋…ธ๊ด‘ ํ›„ ์šฉ์ œ๋กœ ์”ป์œผ๋ฉด ์‚ฌ์ง„์—์„œ ๋งํ•˜๋Š” ์–‘ํ™” (้™ฝ็•ต)๋ฅผ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ๊ณ , ๋ฐ˜๋Œ€๋กœ ๋น›๊ณผ์˜ ์ž‘์šฉ์— ๋”ฐ๋ผ ์šฉ์ œ์— ์ž˜ ๋…น์ง€ ์•Š๊ฒŒ ๋˜์–ด โ€ฆ 1) ๊ฐ๊ด‘ ๊ทน์„ฑ(Polarity)์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋ถ„๋ฅ˜ - ์–‘์„ฑ/์Œ์„ฑ(Positive/Negative Resist) ๊ฐ๊ด‘์ œ. ํ‘œ์ ์น˜๋ฃŒ์ œ๋ž€ ์œ ๋ฐฉ์•” ์„ธํฌ ์ฆ์‹๊ณผ ๊ด€๋ จ๋œ Her-2์˜ ์„ธํฌ์ „๋‹ฌ ๊ฒฝ๋กœ๋งŒ์„ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์ฐจ๋‹จํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.. TFT๊ฐ€ ํ˜•์„ฑ๋œ Glass์™€ ํ•ฉ์นœ ๋’ค. ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋Š” ๊ธฐ์งˆ์— ์ „์ž๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ๊ธฐ์งˆ์—์„œ ์ˆ˜์†Œ ์›์ž๋ฅผ ์ถ”์ถœํ•˜์—ฌ ์ด์›ƒ ๋ถ„์ž์— ๋ฌผ๋ฆฌํ™”ํ•™์  ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ผ์œผ ํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด 8๋Œ€ ๊ณต์ •์ด๋ž€? 3. ํฌํ† ๊ณต์ • ์ œ๋Œ€๋กœ ์•Œ๊ธฐ (EUV, ๋…ธ๊ด‘๊ณต์ • ...

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Photoresist, PR์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›๋ฃŒ์ธ ์›จ์ดํผ ์œ„์— ๋„ํฌํ•˜๋Š” โ€˜๊ฐ๊ด‘์•กโ€™์ด๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค๋ฉด ๋น›์ด ๋‹ฟ๋Š” ๋ถ€๋ถ„์ด ๋ถ„ํ•ดํ•˜์—ฌ ์šฉ์ œ์— ๋…น๊ธฐ ์‰ฝ๊ฒŒ ๋˜์–ด ๋…ธ๊ด‘ ํ›„ ์šฉ์ œ๋กœ ์”ป์œผ๋ฉด ์‚ฌ์ง„์—์„œ ๋งํ•˜๋Š” ์–‘ํ™” (้™ฝ็•ต)๋ฅผ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ๊ณ , ๋ฐ˜๋Œ€๋กœ ๋น›๊ณผ์˜ ์ž‘์šฉ์— ๋”ฐ๋ผ ์šฉ์ œ์— ์ž˜ ๋…น์ง€ ์•Š๊ฒŒ ๋˜์–ด โ€ฆ 1) ๊ฐ๊ด‘ ๊ทน์„ฑ(Polarity)์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋ถ„๋ฅ˜ - ์–‘์„ฑ/์Œ์„ฑ(Positive/Negative Resist) ๊ฐ๊ด‘์ œ. ํ‘œ์ ์น˜๋ฃŒ์ œ๋ž€ ์œ ๋ฐฉ์•” ์„ธํฌ ์ฆ์‹๊ณผ ๊ด€๋ จ๋œ Her-2์˜ ์„ธํฌ์ „๋‹ฌ ๊ฒฝ๋กœ๋งŒ์„ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์ฐจ๋‹จํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.. TFT๊ฐ€ ํ˜•์„ฑ๋œ Glass์™€ ํ•ฉ์นœ ๋’ค. ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋Š” ๊ธฐ์งˆ์— ์ „์ž๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ๊ธฐ์งˆ์—์„œ ์ˆ˜์†Œ ์›์ž๋ฅผ ์ถ”์ถœํ•˜์—ฌ ์ด์›ƒ ๋ถ„์ž์— ๋ฌผ๋ฆฌํ™”ํ•™์  ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ผ์œผ ํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค.

์ฐฝ๋• ์—ฌ์ž ์ค‘ํ•™๊ต Sep 21, 2023 · ํ›„์ง€ํ•„๋ฆ„์€ ์‚ฌํšŒ์— ๋ด‰์‚ฌํ•˜๊ณ , ์งˆ์ ์ธ ์‚ถ์— ๊ธฐ์—ฌํ•˜๋ฉฐ, ํ™˜๊ฒฝ์˜ ์ง€์† ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์„ ๋†’์ผ ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ํ˜์‹ ์ ์ธ ์ œํ’ˆ์„ ๋งŒ๋“ค๊ณ  ํšจ๊ณผ์ ์ธ ์†”๋ฃจ์…˜์„ ์ œ๊ณตํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ๋ฅผ ๋ฐ”๋ฅธ ๋’ค์—๋Š” ์›จ์ดํผ์— ๋น› ( ๋ ˆ์ด์ € . ๊ถ๊ธˆ์ฆ์„ ๊ฒฌ๋””๋‹ค ๋ชปํ•ด ๊ธ‰๊ธฐ์•ผ ์–ด์ œ ์˜ค์ „์— ์†Œ์‹์„ ์•Œ์•„๋ณด๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์๋‚ด๋กœ ๋‹ฌ๋ ค์™”๋‹ค. 1) ๊ตฌ์„ฑ์š”์†Œ: ์šฉ์ œ, ๋‹ค์ค‘์ฒด, ๊ฐ์‘์ œ (1) ์šฉ์ œ: ์ ์ ˆํ•œ ์ ๋„๋ฅผ ์–ป๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์šฉ์ œ (2) ๋‹ค์ค‘์ฒด: ๋ฐ˜๋ณต๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ถ„์ž๋“ค์˜ ์ง‘ํ•ฉ์ฒด (3) ๊ฐ์‘์ œ: โ€ข UV.  · ์‚ผ์„ฑ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์—˜์‹œ๋”” (LCD) ๊ณต์žฅ์—์„œ 13๋…„ ๋™์•ˆ ์ผํ•˜๋‹ค ์œ ๋ฐฉ์•”์„ ์ง„๋‹จ๋ฐ›๊ณ  ํˆฌ๋ณ‘์ƒํ™œ์„ ํ•ด์˜จ 30๋Œ€ ์—ฌ์„ฑ๋…ธ๋™์ž๊ฐ€ ์ง€๋‚œํ•ด 12์›”31์ผ ์„ธ์ƒ์„ ๋– ๋‚œ ์‚ฌ์‹ค์ด .03: ์˜ํ•™์šฉ์–ด ambulation ๋œป ๋ณดํ–‰, ์ด๋™, ์•ฐ๋ทธ๋ ˆ์ด์…˜ (0) 2021.

10. 252 264 252 ํฌํ†  ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ์˜ ๊ธฐ์ˆ  ๋™ํ–ฅ๊ณผ ํ™”ํ•™ ์ฆํญํ˜• ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ์—์„œ์˜ ๊ด‘์‚ฐ ๋ฐœ์ƒ์ œ์˜ ์—ฐ๊ตฌ Technology Trends for Photoresist and Research on Photo Acid Generator for ์•”์„ธํฌ ํƒ€๊นƒ์„ ์œ„ํ•œ ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ด‘๊ฐ๊ฐ์ œ๊ฐ€ ๊ฐœ๋ฐœ๋๋‹ค. [๊ณต์‹œ์ •๋ณด] ๋ถ„๊ธฐ๋ณด๊ณ ์„œ (2023. ํ•œ๊ตญ๊ด‘ํ•™ํšŒ 2006๋…„๋„ ํ•˜๊ณ„ํ•™์ˆ ๋ฐœํ‘œํšŒ ๋…ผ๋ฌธ์ง‘ 2006 July 01 , 2006๋…„, pp. ํผํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋กœ์˜ฅํƒ„์‚ฐ ํ…ŒํŠธ๋ผ๋ฉ”ํ‹ธ์•”๋ชจ๋Š„: โ€˜๊ฐ๊ด‘์ œโ€™์˜ ์›๋ฃŒ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์ธํ™”์„ฑ ์œ ๋… ๋ฌผ์งˆ. ์ž๋Š” ์„ ์‘ (ๅ–„ๆ‡‰).

Chapter 03 Etch - ๊ทน๋™๋Œ€ํ•™๊ต

๋น›๊ณผ์˜ ๋…ธ์ถœ ์—ฌ๋ถ€๋ฅผ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ์šฉํ•ด๋˜์–ด ์—†์–ด์ง€๊ฑฐ๋‚˜ ๋˜๋Š” ์ž”์กดํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋ฉฐ, ์ž”์กด๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๋ถ€๋ถ„์€ ์ดํ›„ Etching ๊ณต์ •์—์„œ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์„ ๋ณดํ˜ธํ•˜๋Š” ์—ญํ• ์„ ํ•˜๊ฒŒ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ธŒ๋กœ๋ฏผ (Bromine) ์€ ์›์ž๋ฒˆํ˜ธ 35๋ฒˆ์˜ ์›์†Œ๋กœ, ์›์†Œ๊ธฐํ˜ธ๋Š” Br์ด๋‹ค. ๊ด‘ํ•™์  ๋…ธ๊ด‘. ๋ฐ”์ด์˜คํ—ฌ์Šค์ผ€์–ด ์†Œ์žฌ์‚ฌ์—… ๋‹น์‚ฌ์˜ ์‚ฌ์—… ์ค‘ ๊ฐ€์žฅ ์ค‘์š”ํ•œ ์‚ฌ์—…๋ถ„์•ผ๋Š” ํฌ๊ฒŒ ๋‘ ๋ถ„์•ผ๋กœ ๋‚˜๋ˆŒ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.  · ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ˆ˜์œจ์„ ๋†’์ด๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋ถˆํ™”์ˆ˜์†Œ์˜ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์„ ๋‚ฎ์ถ”๊ณ  ์ˆœ๋„๋ฅผ ๋Š์ž„์—†์ด ๋†’์—ฌ์˜ค๊ณ  ์žˆ๋Š” ๋ฐ, ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด five nine์˜ ๊ฒฝ์šฐ 99. ๊ด‘๊ฐ๊ฐ์ œ (Photosensitizer)๋Š” ํŠน์ • ๊ณ ์œ  ํŒŒ์žฅ์˜ ๋น›์„ ํก์ˆ˜ํ•˜์—ฌ ์—ฌ๊ธฐ (excitation)๋  ๋•Œ ์ฃผ๋ณ€ ์‚ฐ์†Œ๋ฅผ ์‚ฐ์†Œ์ข… (์‚ฐ์†Œ๋ผ๋””์นผ, superoxide, ๋ฐ peroxide)์œผ๋กœ ๋ฐ”๊พธ์–ด์ค„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. Chapter 02 Lithography - ๊ทน๋™๋Œ€ํ•™๊ต

 · ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์—…๋“ค์ด ๊ณผ์ž ํ‹€ ( ๋ฎ๊ฐœ) ์„ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ณผ์ •์„ ํฌํ†  ๊ณต์ •์ด๋ผ๊ณ  ๋ถ€๋ฅธ๋‹ค. ํ†ต์ƒ, ๋งˆ์Šคํฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ๋น›์— ๋…ธ์ถœ์‹œํ‚ด ใ…‡ ๊ฐ๊ด‘๋ง‰ (Photosensitive Film) - ๊ธฐํŒ,๋ฐ•๋ง‰ ์œ„์— ๊ฐ๊ด‘์ œ๊ฐ€ ๋„ํฌ๋˜์–ด ํ˜•์„ฑ๋œ `๋ฐ˜์‘์„ฑ ๋ง‰`์„ ์ง€์นญ ใ…‡ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์žฌ๋ฃŒ / ๊ฐ๊ด‘ ์žฌ๋ฃŒ . ๊ถ๊ธˆ์ฆ์„ ํ’€๋‹ค. ๋‘๊บผ์šด ๋งˆ๋ถ„์ง€ ๋“ฑ์œผ๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐ€์ง€ ํ˜•ํƒœ์˜ stencil์„ ๋งŒ๋“ ๋‹ค. 2,782๊ฐœ ์˜ ็š„ ๊ด€๋ จ ํ‘œ์ค€๊ตญ์–ด๋Œ€์‚ฌ์ „ ๋‹จ์–ด. ์ƒˆ๋กœ์šด ํ•ญ์•” ์น˜๋ฃŒ, ์‹์ˆ˜·๊ณต๊ธฐ ์‚ด๊ท ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋ถ„์•ผ์— ๋„๋ฆฌ ์“ฐ์ผ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ๋Œ€๋œ๋‹ค.์žฅ์ธ ๋žญํ‚น -

โ€ข ์˜ˆ์‹œ: " ๊ฒฝ๊ด€์  "์˜ ํ™œ์šฉ ์˜ˆ์‹œ 2๊ฐœ. ๋จธํฌ์˜ ๊ฐ๊ด‘์ œ๋Š” ๋น›์— ๋ฏผ๊ฐํ•œ ์œ ๊ธฐ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ๋กœ, ์ฃผ๋กœ ์ง‘์  ํšŒ๋กœ ๋ฐ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ํŒจ๋„์˜ ์ƒ์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ํ‘œ๋ฉด์— ํŒจํ„ดํ™”๋œ ์ฝ”ํŒ…์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.. ์นด๋ฉ”๋ผ ๋ Œ์ฆˆ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋“ค์–ด์˜จ ๋น›์ด ๋‹ค์‹œ . ์ž์—ฐ ํœด์‹์ง€๋Š” ๊ณต์›์ด๋‚˜ ์ž์—ฐ ํœด์–‘๋ฆผ ๋“ฑ์œผ๋กœ ์ง€์ •๋˜์ง€ ์•Š์€ ์ง€์—ญ ์ค‘์—์„œ ์ƒํƒœ์ ใ†๊ฒฝ๊ด€์  ๊ฐ€์น˜๊ฐ€ ๋†’์€ ์žฅ์†Œ๊ฐ€ ์ง€์ • ๋Œ€์ƒ์ด๋ฉฐ ์ง€๋‚œ 97๋…„ ๊ทธ ๊ฐœ๋…์ด ๋„์ž…๋œ ํ›„ ์ž์—ฐ ํœด์‹ .05.

์Šต์‹ ์‹๊ฐ์€ ํ™”ํ•™ ๋ฐ˜์‘์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‘ํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ด ์•„๋‹ˆ๋ฉด ๋ฐ˜์‘ํ•˜์ง€ ์•Š๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์„ ํƒ๋น„๊ฐ€ ๋งค์šฐ .[๐Ÿ““๋ช…์‚ฌ ํ•œ์ž์–ด ๋‹จ์–ด ](๐Ÿ—ฃ๏ธ์˜ˆ๋ฌธ: ์•…๊ฐ์ •์„ ํ’ˆ๋‹ค. ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰์— ์ฐฝ์„ ๋šซ์€ ํ›„ ํ‘œ๋ฉด์—์„œ ๊ฐ๊ด‘๋ง‰์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์ด๋‹ค. Novolac Phenolic Resin . ํฌํ†  ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ : ์›จ์ดํผ(๊ธฐํŒ) ์œ„์— ํŒจํ„ด์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ํฌํ†  ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฐ๊ด‘์„ฑ ์žฌ๋ฃŒ๋กœ ํŠน์ •ํ•œ ํŒŒ์žฅ์˜ ๋น›์— ๋ฐ˜์‘. ์ด ๊ณผ์ •์ด ๋๋‚˜๋ฉด ๊ฐ๊ด‘์ œ๋Š” ๊ฒฐ๊ตญ ๋ฐ”๋‹ฅ ์ƒํƒœ ๋กœ ๋Œ์•„๊ฐ€ ๊ฐ๊ด‘์ œ๊ฐ€ ๋” ๋งŽ์€ ๋น›์„ ํก์ˆ˜ํ•  ๋•Œ๊นŒ์ง€ ํ™”ํ•™์ ์œผ๋กœ ์†์ƒ๋˜์ง€ ์•Š์€ ์ƒํƒœ๋กœ ์œ ์ง€๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค .

๋ถ„๋ฆฌ ๋Œ€๋‘ ๋‹จ๋ฐฑ - ํŽ˜๋ฑ์Šค ๊ณ ๊ฐ ์„ผํ„ฐ Newtoki 133 - ์ŠคํŽ˜์ธ ํˆฌ์šฐ ์ผ์ • AROEUF ์ฃผํƒ ๋„์‹œ ๋ณด์ฆ ๊ณต์‚ฌ ์—ฐ๋ด‰ 3io9iw